下図の示すようにウェットエッチングとドライエッチングは、レジストの現像工程までは基本的に同じで、その後のエッチング工程に違いがあります。
ウェットエッチングは等方性を持つため、一方向のみに加工が進行する異方性エッチングに比べ加工精度が低いですが、複数同時加工が可能で設備も比較的に安価なため、コストパフォーマンスに優れております。

弊社では長年の経験により加工精度において不利なウェットエッチングで在りながら高精度のパターニングを実現しております。